机译:热ALD沉积Al掺杂ZnO薄膜对结晶硅表面的钝化。
机译:热ALD沉积Al2O3薄膜的沉积温度对硅表面钝化的影响
机译:低频感应耦合等离子体沉积的本征硅薄膜对晶体硅表面的钝化
机译:PECVD Sin_X沉积的空间ALD沉积的Al_2O_3的热稳定性,用于钝化低和高掺杂的P型硅表面
机译:等离子体沉积非晶硅薄膜的表面反应性,粗糙度和结晶度的原子分析。
机译:富含富含型和Zn的生长条件下ALD沉积的薄ZnO膜的结构性质及其与电参数的关系
机译:热aLD沉积al2O3薄膜沉积温度对硅表面钝化的影响